Producent: | CYBERSTAR |
Instalacja: | 2011 (modernizacja 2014) |
Grzanie: | indukcyjne |
Moc generatora: | 20 kW |
Częstotliwość prądu: | 5 – 15 kHz |
Metoda wzrostu: | mikrowyciąganie, Czochralski |
Warunki wzrostu: | próżnia (do ~ 3 x 10-6 bara) lub dowolna atmosfera gazowa |
Osiągalna temperatura: | >2000°C |
Izolacja cieplna: | Al2O3 lub ZrO2:Mg |
Prędkość wzrostu: | 0.01 mm/h do 99.99 mm/min (realnie do kilku mm/min) |
Prędkość obrotowa: | 0.1 – 99.9 obr/min |
Urządzenie wyposażone w system automatycznej kontroli procesu wzrostu kryształu |
Urządzenie dedykowane do wysokotemperaturowej hodowli monokryształów metodami mikrowyciągania i Czochralskiego.