Modernizowany w 2006 r.
Główny trakt wiązki jonów stosowanej w metodach IBAD, IBSD oraz implantacji |
|
| wiązka jonów analizowana magnetycznie | |
| zdolność rozdzielcza masowa: | dM/M = 1/350 |
| napięcie przyspieszające: | 5 - 50 kV |
| stabilizacja: | 10-4 |
| dodatkowe napięcie (przyśpieszające albo spowalniające): | 0 - 30 kV |
| rodzaj przyspieszanych jonów: | jony prawie wszystkich pierwiastków za wyjątkiem niektórych platynowców oraz aktynowców |
| prąd wiązki jonów: | do kilku mA |
| krotność jonizacji: | 1 - 5 (w zależności od pierwiastka) |
| obraz wiązki jonów na powierzchni implantowanego przedmiotu: | prostokąt 10 mm x 120 mm |
Parametry wiązki jonów stosowanej do rozpylania jonowego materiału pomocniczej tarczy |
|
| rodzaj jonów: | jony gazów szlachetnych |
| napięcie przyspieszające: | 5 - 45 kV |
| materiał rozpylanej tarczy: | dowolny materiał z ciała stałego |
| gęstość prądu rozpylanej wiązki jonów: | ~500 mA/cm2 |